能量色散X射線熒光光譜儀由X射線光管、樣品室技術交流、準(zhǔn)直器堅持先行、探測(cè)器及技術(shù)電路和計(jì)算機(jī)組成產業。也可以在樣品前加一單色器，用來(lái)降低背景情況較常見，可持續，以改善色散X射線熒光光譜儀的檢出限。

  它與波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀顯著的區(qū)別是分光晶體體製，直接用能量探測(cè)器來(lái)分辨特征譜線構建，達(dá)到定性和定量分析的目的。

  當(dāng)樣品中待測(cè)元素的特征射線進(jìn)入能量探測(cè)器時(shí)服務延伸，除了會(huì)產(chǎn)生電子孔穴對(duì)外覆蓋，其數(shù)量還會(huì)正比于入射光子的能量重要作用，經(jīng)過(guò)前置放大器統籌，產(chǎn)生典雅脈沖加強宣傳。前方產(chǎn)生的信號(hào)幅度小大大提高，信噪比低，所以需要慢脈沖成型放大器將其放大保持穩定，并采用濾波器壓制極低和*的高頻信號(hào)對外開放，改善信噪比落實落細，提高分辨率開展試點。

  在能量探測(cè)過(guò)程中攜手共進，多道分析器進(jìn)行著模數(shù)轉(zhuǎn)換共同。多道分析器通過(guò)測(cè)量每一放大器的脈沖輸出高度推進一步，按積分方式對(duì)脈高分類(lèi)計(jì)數(shù)，完成模擬信號(hào)向數(shù)字信號(hào)的轉(zhuǎn)換簡單化，形成脈沖高度光譜力度。在多道分析器中，首先利用模數(shù)轉(zhuǎn)換器甄別脈沖系統性。信號(hào)的高度（能量）勇探新路，并按其能量分類(lèi)以一定能量間隔作為X軸（道），統(tǒng)計(jì)在該能量間隔內(nèi)的脈沖數(shù)傳遞，得到相應(yīng)能量的技術(shù)試驗，并作為Y軸。從而獲得我們熟知的每道能量間隔的光子計(jì)數(shù)開展攻關合作。

  放大器和多道分析器均需要一定的時(shí)間進(jìn)行信息的處理和系統(tǒng)的重置與恢復(fù)製度保障，在此期間因?yàn)闊o(wú)法接受新的脈沖信號(hào)，所以會(huì)產(chǎn)生系統(tǒng)死時(shí)間的有效手段。當(dāng)計(jì)數(shù)率高的時(shí)候統籌推進，兩個(gè)X射線光子在放大器輸出脈沖寬度內(nèi)同時(shí)達(dá)到探測(cè)器的機(jī)率很高，這時(shí)會(huì)出現(xiàn)脈沖堆積，兩個(gè)脈沖不能被分辨了解情況，脈沖發(fā)生畸變深入。所以在多道分析器中，通常都會(huì)配置死時(shí)間校正和抗脈沖堆積電路來(lái)克服這兩個(gè)問(wèn)題重要的。

  此外開展研究，在能量色散XRF光譜儀中采用充He氣條件時(shí)，應(yīng)謹(jǐn)慎小心部署安排。因?yàn)镠e可能穿透過(guò)較薄的探測(cè)器Be窗搖籃，損害探測(cè)器的低溫真空系統(tǒng)。