順序式X射線熒光光譜儀是掃描型的儀器，當儀器運行時基礎，許多部件在動作去完善，如測角儀創造性、晶體轉(zhuǎn)換器適應性、準直器等生產效率，經(jīng)常動作的部件容易出現(xiàn)問題品率，另外控制和探測各個部件動作的電子線路板也可能出現(xiàn)問題相貫通。

  新型的X射線熒光光譜儀都裝有故障診斷軟件，分布于儀器各個部位的傳感器將儀器的狀態(tài)信號傳輸?shù)接嬎銠C積極影響，供儀器操作者和維修工程師判斷儀器是否正常自動化方案，找到產(chǎn)生故障的部位。但是有些在測量過程中出現(xiàn)的問題靠診斷軟件是發(fā)現(xiàn)不了的越來越重要，而且診斷軟件僅僅提示產(chǎn)生了故障線上線下，要找到產(chǎn)生故障的原因，要求維修人員對儀器的結(jié)構(gòu)比較熟悉近年來，且具有一定的維修經(jīng)驗講道理。本文介紹5種常見故障的產(chǎn)生原因及處理方法。

一技術先進、故障現(xiàn)象一

X射線發(fā)生器的高壓開不起來更多的合作機會。

故障分析：

  這是X射線熒光光譜儀較常見的故障，一般發(fā)生在開機時認為，偶爾也發(fā)生在儀器運行中服務好。故障的產(chǎn)生原因可以從三個方面去分析：1、X射線防護系統(tǒng)反應能力；2共謀發展、內(nèi)部水循環(huán)冷卻系統(tǒng)；3有所提升、高壓發(fā)生器及X射線光管。

1.1 X射線防護系統(tǒng)

  為了防止X射線泄漏新的力量，高壓發(fā)生器只有在射線防護系統(tǒng)正常的情況下才能啟動先進水平。射線防護系統(tǒng)正常與否，主要檢查以下二部分：

1全面展示、面板的位置是否正常重要平臺。X射線熒光光譜儀是一個封閉系統(tǒng)，面板是外層的射線防護裝置核心技術，如果有一塊面板不到位應用提升，儀器就有射線泄漏的可能。因此創造性，每塊面板上都有位置接觸傳感器發展的關鍵，面板沒有合上，高壓開不起來。

2真諦所在、X射線的警示標志是否正常指導。國家標準[1]規(guī)定X射線熒光光譜儀必須安裝紅色警告信號燈并與相應的開關(guān)聯(lián)動，因此如果信號燈失靈充分，高壓也開不起來進一步完善。

  有一種簡單的方法可以判斷高壓不能啟動是否是由射線防護系統(tǒng)引起，即將儀器的狀態(tài)設(shè)定為維修狀態(tài)競爭力，屏蔽射線防護系統(tǒng)調整推進，如果這時高壓可以開起來，就可以確定故障是由射線防護系統(tǒng)的問題引起的敢於挑戰。

1.2 內(nèi)部水循環(huán)冷卻系統(tǒng)

  高壓發(fā)生器的輸出功率一般為3kW或4kW不斷創新，將高壓加至X射線光管后，除小部分用于產(chǎn)生X射線外探索，大部分轉(zhuǎn)化為熱能堅持先行，由內(nèi)部水循環(huán)冷卻系統(tǒng)帶走。內(nèi)循環(huán)水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分滿意度，因此要求內(nèi)循環(huán)水為電導率很低的去離子水情況較常見，以防高壓擊穿。內(nèi)循環(huán)水通過儀器內(nèi)部的去離子樹脂柱降低電導率主要抓手，去離子樹脂柱中的樹脂會年久失效體製，因此高壓無法啟動時，可檢查一下內(nèi)循環(huán)水的電導率創新科技，如果電導率降不下去服務延伸，考慮更換樹脂。另外具有重要意義，內(nèi)循環(huán)水的水位過低進一步，也會導致高壓開不起來。

  還有一種故障現(xiàn)象是高壓開起來幾分鐘后跳掉強大的功能，產(chǎn)生這種故障的原因可能為內(nèi)循環(huán)水的流量過小實際需求。內(nèi)循環(huán)水的流量通過流量計測量，水流過流量計時優勢，帶動流量計內(nèi)的葉輪善謀新篇，葉輪切割磁力線，產(chǎn)生電信號便利性。葉輪在水中長期轉(zhuǎn)動方法，可能會銹蝕，從而使葉輪的轉(zhuǎn)速減慢提供有力支撐，流量計的電信號減弱切實把製度，使儀器誤認為水流量過小而導致高壓跳掉保供。另外內(nèi)循環(huán)水的過濾網(wǎng)堵塞導致水流量減小，也會引起高壓跳掉協同控製。

1.3 高壓發(fā)生器及X射線光管本身

  高壓發(fā)生器和X射線光管是儀器內(nèi)貴重的部件振奮起來，一般不會出問題。檢查高壓發(fā)生器試驗，可將高壓發(fā)生器打開勞動精神，根據(jù)電路圖，檢查各個開關(guān)是否在正常位置製度保障，看一下保險絲有沒有熔斷預下達，再進一步的檢查好由專業(yè)維修工程師來做。X射線光管是個封閉的部件統籌推進，一旦損壞方案，只能更換，不能修理了解情況。檢查X射線光管深入，可檢查X射線光管與高壓電纜的連接是否正常，高壓電纜有無損壞重要的。

二開展研究、 故障現(xiàn)象二

光譜室和樣品室的真空抽不到規(guī)定值。

故障分析：

  X射線熒光光譜分析通常在真空光路條件下工作相互融合，但光譜室和樣品室有很多部位與外部相連首要任務，可能漏氣的部位很多。檢查真空故障時不同需求，將可能出問題的地方人為分隔為三部分：真空泵發展、樣品室、光譜室總之，對這三部分逐一檢查以縮小范圍面向。

2.1 真空泵

  將真空泵與光譜室和樣品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，然后抽真空研學體驗，如果能在幾秒鐘內(nèi)抽到規(guī)定值建設項目，可以排除真空泵出現(xiàn)故障的可能性。如果能抽到規(guī)定值但時間較長近年來，可能是真空泵的效率降低講道理，這種情況一般發(fā)生在經(jīng)常分析壓片樣品和油品的儀器上發展目標奮鬥，粉末或油被吸到真空泵油中技術先進，改變了油的粘度，這時需更換真空泵油延伸。

2.2 樣品室

  樣品室常見的漏氣部位是樣品自轉(zhuǎn)裝置上的密封圈認為，樣品測量時通常以0.5轉(zhuǎn)/秒的速度自轉(zhuǎn)，儀器幾年運行下來，樣品自轉(zhuǎn)處的密封圈磨損長效機製，密封效果變差講實踐。

2.3 光譜室

  光譜室常見的漏氣部位是流氣計數(shù)器，流氣計數(shù)器安裝在光譜室內(nèi)奮戰不懈，有一根入氣管和一根出氣管與外界相通市場開拓，流氣計數(shù)器的窗膜很薄，窗膜漏氣大大縮短，就會影響光譜室真空要落實好。檢查方法：將入氣管和出氣管用一根軟管連接，使流氣計數(shù)器與外界隔絕更默契了，然后抽真空先進技術。

  檢查真空故障，在拆卸和安裝時不合理波動，要小心操作宣講手段，不要讓灰或頭發(fā)掉到密封圈上，以避免產(chǎn)生新的漏氣點積極拓展新的領域，安裝時可以在密封部位涂一點真空油脂配套設備。

三、故障現(xiàn)象三

計數(shù)率不穩(wěn)定多種方式。

故障分析：

X射線熒光光譜儀的常用探測器有二個：流氣計數(shù)器和閃爍計數(shù)器對外開放。閃爍計數(shù)器很穩(wěn)定，問題常出現(xiàn)在流氣計數(shù)器上深入交流研討。

流氣計數(shù)器窗膜由一塊聚酯薄膜資料、hostaphan膜或聚丙烯薄膜鍍上一層很薄（約30nm）的鋁膜所構(gòu)成關註度，由于窗膜承受大氣壓力橫向協同，一段時間后隨著基體材料的延展，鋁膜可能產(chǎn)生裂紋敢於挑戰，從而減弱導電性能不斷創新，這種情況對脈沖高度分布影響不大，但會使計數(shù)率不穩(wěn)定提供了遵循。新型號的X射線熒光光譜儀一般都安裝1μm甚至0.6μm的窗膜參與水平，而不再使用6μm的窗膜，因此流氣計數(shù)器的窗膜導電性能下降的可能性增大服務效率。

檢查方法[2]：在低X射線光管功率情況下明確相關要求，選一個K Kα計數(shù)率約2000CPS的樣品，測定計數(shù)率共同努力，然后用一個鉀含量高的樣品取代原樣品行業內卷，將光管調(diào)到滿功率追求卓越，保持2分鐘，再將X射線光管功率減至原值參與能力，測量第一個樣品合理需求，如窗膜導電正常，將得到原計數(shù)率充分發揮，如窗膜導電性能變差高質量，會發(fā)現(xiàn)計數(shù)率減小，然后慢慢回升至初始值選擇適用，這時就應調(diào)換窗膜機構。

四、故障現(xiàn)象四

2θ掃描時交流，發(fā)現(xiàn)峰形不光滑基礎，有小鋸齒狀。

故障分析：

晶體是儀器內(nèi)脆弱的部件還不大，盡量不要用手接觸衍射面高產，如果手或其他東西碰到了晶體的衍射面，就會污染晶體發揮作用，手上的汗或其他物質(zhì)滲到晶體的表面良好，使晶體表面的晶格間距發(fā)生變化，而X射線熒光的衍射主要發(fā)生在晶體的表面銘記囑托，因此造成2θ掃描的峰形不光滑引領。這種故障一時很難消除，文獻[3]介紹了晶體的表面處理方法示範，但一般清洗不干凈應用前景。

五、故障現(xiàn)象五

2θ掃描時只出現(xiàn)噪聲信號運行好，沒有峰位信號首次。

故障分析：

可能的原因有二個：

5.1 探測器的前置放大電路出現(xiàn)故障，出現(xiàn)的噪聲信號為電路噪聲部署安排，不是X射線信號搖籃。

5.2 測角儀的θ和2θ耦合關(guān)系發(fā)生混亂，通常是控制θ和2θ耦合關(guān)系的CMOS中的數(shù)據(jù)由于電池漏電等原因丟失推廣開來，這時需要重新對光標準。